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超高密度互联三维多芯片集成封装

江阴市东盛西路9号

盛合晶微半导体（江阴）有限公司

南京源恒环境研究所有限公司

盛合晶微半导体（江阴）有限公司拟利用东盛西路9号厂区已批待建的FAB3厂房，引进键合机、贴片机等进口设备共119台（套），购置化学气相沉积设备、刻蚀后清洗设备等国产设备共122台（套），建设超高密度互联三维多芯片集成封装生产线。项目建设完成后，将新增月产4000片（12英寸）超高密度互联三维多芯片集成封装产品的生产能力。

1、大气污染物：酸洗、CVD、电镀等环节产生的酸碱废气经新增一级碱喷淋装置处理后通过一根40m排气筒DA010排放，光刻、显影、去胶、有机清洗等环节产生的有机废气经新增沸石转轮+RTO装置处理后，与RTO天然气燃烧废气合并，通过一根40m排气筒DA011排放。

2、废水：项目含氟废水、含镍废水、含银废水分类处理，在预处理排放口处理达标后，与生产区生活污水、有机废气混合，进入厂内综合废水预处理系统处理达标后，与研磨废水处理出水、30%经处理后的磨划废水混合，进入厂内综合废水处理系统均衡水质水量后、与厂内初期雨水、清下水通过DW001排放口接管至江阴高新区污水处理厂集中处理，生活区生活污水通过DW002排放口接管至江阴市清泉水处理有限公司集中处理。

3、噪声：选择低噪声设备、采取消声、减振降噪措施，距离衰减；

4、固废：全厂一般固废纯水站废滤料、废金属、废Wafer、炭渣、一般污泥、废品、硬纸板、木头、海绵/泡棉、铝箔袋、废PVC手套、废塑料、头套、口罩、FAB一般垃圾、废纸、废无尘布、空气过滤废滤料收集后综合利用；全厂危险废物废有机溶液、废蚀刻液、废酸、废电镀液、废水处理废滤料、废树脂、含铜污泥、含镍污泥、含银污泥、含氟废水处理污泥、研磨废水处理污泥、废玻璃、实验室废液、废滤料（拉西环）、废油、废汞灯、废清洁布、废试剂瓶、废油漆桶、废原料包装桶、废过滤棉、废沸石收集后委托有资质单位进行合理处置；生活垃圾环卫清运。

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